擴散爐相關問題
- 教育綜合
- 2024-10-21 17:44:30
擴散爐三氯氧磷液位測不準怎么回事
傳感器出現(xiàn)故障、液位計的電源或信號出現(xiàn)了干擾、液位計的校準出現(xiàn)了問題、有漏液或滲漏的情況。
1、傳感器出現(xiàn)故障:可以先檢查傳感器的連接是否牢固,排除連接不良的可能性,如果連接正常就需要更換傳感器。在更換傳感器之前,先檢查傳感器周圍是否存在腐蝕或污垢,如果有,及時清理。
2、液位計的電源或信號出現(xiàn)了干擾:可以更換電源線或信號線,確保其質量良好。另外,檢查液位計周圍是否有其他電磁設備或干擾源,如電動機、變頻器等,如果有,將其遠離液位計,以減少干擾。
3、如果液位計的液位讀數(shù)始終為零或滿量程,是由于液位計的校準出現(xiàn)了問題:可以查閱液位計的使用手冊,了解如何進行校準操作。如果不確定如何進行校準,可咨詢專業(yè)技術人員的幫助。
4、有漏液或滲漏的情況:如果發(fā)現(xiàn)液位計周圍有液體泄漏,應立即停止使用,并檢查密封件是否完好。如果密封件破損或老化,需要更換新的密封件。同時,還應檢查液位計的安裝是否牢固,是否存在松動或傾斜的情況。
拉普拉斯擴散設備缺點
拉普拉斯擴散設備缺點有管內空間利用率低,能耗高,不適合超大超薄硅片的生產(chǎn)。根據(jù)查詢相關資料顯示拉普拉斯擴散設備缺點有管內空間利用率低,能耗高,不適合超大超薄硅片的生產(chǎn)。但值得慶幸的是拉普拉斯最新的水平低壓硼擴散系統(tǒng)(擴散爐)已經(jīng)完美的解決了上述缺點。
關于太陽能電池板生產(chǎn)工藝和設備的一些問題
我將嘗試盡我所能的一一解答以上各個問題: 1、“擴散爐”顧名思義就是用來擴散的爐子,在晶體硅太陽能電池的生產(chǎn)制造行業(yè)中,自然是用于對硅基片的擴散摻雜,制備P-N結結構。至于硅片的熱氧化,只不過是擴散摻雜技術工藝的一個中間過程,是為了提高擴散工藝的穩(wěn)定性和均勻性而設計的。但是一般氧化層厚度極薄,與半導體晶圓工藝制程中的氧化完全不同,因此這里經(jīng)過熱氧化的硅片只是中間的一個狀態(tài),一般并不單獨作為一個工藝單元。 2、“爐管”即“TUBE”,顯然只有管式爐才有爐管只稱謂,板式則稱為“腔”。除了擴散爐,PECVD也有管式設備,基本上和擴散爐的爐管是同一個概念。 ——另外,國產(chǎn)PECVD以管式居多。什么是擴散爐?它有什么用處?
擴散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設備之一,它的主要用途是對半導體進行摻雜,即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片,從而改變和控制半導體內雜質的類型、濃度和分布,以便建立起不同的電特性區(qū)域。雖然某些工藝可以使用離子注入的方法進行摻雜,但是熱擴散仍是最主要、最普遍的摻雜方法。硅的熱氧化作用是使硅片表面在高溫下與氧化劑發(fā)生反應,生長一層二氧化硅膜。氧化方法有干氧氧化和水汽氧化(含氫氧合成)兩種,擴散爐是用這兩種氧化方法制備氧化層的必備設備。擴散爐是半導體集成電路工藝的基礎設備,它與半導體工藝互相依存、互相促進、共同發(fā)展。在生產(chǎn)太陽能電池的光伏公司里面 做 擴散爐 會傷身體嗎?
沒影響,就算是三氯氧磷露泄漏了也只是刺激呼吸道(吸入太多也會致死,只要操作得當是不會泄露的),跟殺精沒關系。展開全文閱讀